晶圆探针平台是半导体元件电信量测介乎晶圆及量测仪器之间的使用工作站. 因为肉眼没办法看到这些组件量测信号的输入与输出.这些组件包括晶圆(或开封后的IC),玻璃基板(LCD,OLED,Solar Cell),印刷电路板,陶瓷电路板. 探针台必须搭配基本的显微镜及探针座才能执行量测实验. 这样的组合才能让用户将探针精准的点到组件上的目标物, 然后开始在仪器上做电信量测
探针台更进阶的配备主要包括
- 量测仪器的搭配根据应用,扩充性及预算的考量选择适当厂牌及型号,软件也可同时一起评估使量测增加便利性及自动化
- 防震桌消除来自于地的震动干扰有助于以下目标点针如射频mmW高速,IC内微小线路点针,LCD微小像素点针,很容易刺穿的有机敏感薄膜(Sensor),非球面微小发光体 MicroLED.
- 电磁波隔离箱/黑箱用于隔离实验室的噪声干扰有助于用于做低电流及低电容的量测,在高压高流量测下加装安全锁定装置可保护人员的安全,同时在黑箱内做电信量测
- 升降温吸盘载台可让测量元件建立热环境,在此温度环境的同时进行组件的电信量测.
- 真空腔体环境建立有助于水气清除执行超低温的电性量测,氧气清除执行担心氧化破坏组件的电信量测.
- 激光切割器可以用于清除氧化保护膜,切断电路,修LCD像素
奕叶会根据您的需求建议提供适当的标准机台,也可以将多个应用集中在一个探针台上,甚至在不适用标准机的情况下打造订做机专门符合您的应用.
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